真空设备可以根据其功能和设计特点进行分类，主要可以分为以下六种：

1.主设备：这是核心设备，用于对真空系统中的容器进行抽真空，以获得满足工艺要求的真空度。

2.粗抽设备：这种设备用于从大气压开始降低真空系统的压强，直到另一个抽气系统可以开始工作。

3.前级设备：这种设备用于保持另一个设备的压强在其最高许可压强以下。

4.维持设备：当真空系统抽气量很小，不能有效利用主要前级设备时，需要使用这种设备来维持主设备的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压。

5.高真空设备：这种设备可以在高真空范围内工作。

6.增压设备：这种设备通常在低高真空设备之间工作，用于提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级设备的抽气速率要求。

每一种设备都在真空系统中扮演着重要的角色，共同完成了各种不同的真空任务。对于具体的真空设备，其分类可能会根据具体的功能和应用有所不同。